Produktneuheit 18. März 2026
RSH-800 Rotary Sensor
Kontinuierliche Abscheidungsüberwachung zur Maximierung der Anlagenverfügbarkeit – selbst für anspruchsvollste Anwendungen
Lang andauernde PVD‑Prozesse erfordern Equipment, das über jede Minute des Betriebs hinweg stabil, präzise und zuverlässig arbeitet. Eine instabile Ratenregelung kann Ausbeute, Schichtgleichmäßigkeit und wertvolle Produktionszeit kosten.
Der INFICON RSH‑800 Rotations‑Sensorkopf wurde speziell für lange Abscheidungsprozesse entwickelt, die ohne Unterbrechung abgeschlossen werden müssen. Ausgelegt für die kontinuierliche Überwachung unter anspruchsvollen Bedingungen unterstützt er kritische Prozesse von Anfang bis Ende – stabil und konsistent.
Entwickelt für anspruchsvolle Prozesse
Lange PVD‑Beschichtungszyklen bringen Systeme an ihre Grenzen. Hohe Temperaturen, dicke Schichten, präzise Multilayer‑Beschichtungen und lange Prozesszeiten erfordern eine zuverlässige Überwachung, die auch unter hoher Belastung nicht nachlässt.
Der RSH‑800 nutzt eine fortschrittliche Sechs‑Kristall‑Technologie, um auch unter anspruchsvollen Bedingungen konstant zu arbeiten. Sein wassergekühltes, thermisch abgeschirmtes Gehäuse gewährleistet Stabilität bis 300 °C und stellt sicher, dass die Messungen über den gesamten Abscheidungsprozess hinweg präzise bleiben.
Stabile Überwachung über den gesamten Prozess
Eine zuverlässige Schichtdickenmessung ist entscheidend für homogene Schichten und vorhersehbare Ergebnisse. Mit einer Technologie, die die Abscheiderate auch bei langen Beschichtungsprozessen stabil hält, liefert der RSH‑800 ein gleichmäßiges, unterbrechungsfreies Signal – selbst bei wechselnden Temperaturen und kontinuierlich zunehmender Schichtdicke.
Das thermisch abgeschirmte Gehäuse reduziert thermische Schockeffekte und trägt dazu bei, die Messgenauigkeit über den gesamten Prozess hinweg zu erhalten.
Ausgelegt für schnelle Wartung und hohe Verfügbarkeit
Lang andauernde PVD‑Prozesse erfordern Equipment, das über jede Minute des Betriebs hinweg stabil, präzise und zuverlässig arbeitet. Eine instabile Ratenregelung kann Ausbeute, Schichtgleichmäßigkeit und wertvolle Produktionszeit kosten.
Der INFICON RSH‑800 Rotations‑Sensorkopf wurde speziell für lange Abscheidungsprozesse entwickelt, die ohne Unterbrechung abgeschlossen werden müssen. Ausgelegt für die kontinuierliche Überwachung unter anspruchsvollen Bedingungen unterstützt er kritische Prozesse von Anfang bis Ende – stabil und konsistent.
Entwickelt für anspruchsvolle Prozesse
Lange PVD‑Beschichtungszyklen bringen Systeme an ihre Grenzen. Hohe Temperaturen, dicke Schichten, präzise Multilayer‑Beschichtungen und lange Prozesszeiten erfordern eine zuverlässige Überwachung, die auch unter hoher Belastung nicht nachlässt.
Der RSH‑800 nutzt eine fortschrittliche Sechs‑Kristall‑Technologie, um auch unter anspruchsvollen Bedingungen konstant zu arbeiten. Sein wassergekühltes, thermisch abgeschirmtes Gehäuse gewährleistet Stabilität bis 300 °C und stellt sicher, dass die Messungen über den gesamten Abscheidungsprozess hinweg präzise bleiben.
Stabile Überwachung über den gesamten Prozess
Eine zuverlässige Schichtdickenmessung ist entscheidend für homogene Schichten und vorhersehbare Ergebnisse. Mit einer Technologie, die die Abscheiderate auch bei langen Beschichtungsprozessen stabil hält, liefert der RSH‑800 ein gleichmäßiges, unterbrechungsfreies Signal – selbst bei wechselnden Temperaturen und kontinuierlich zunehmender Schichtdicke.
Das thermisch abgeschirmte Gehäuse reduziert thermische Schockeffekte und trägt dazu bei, die Messgenauigkeit über den gesamten Prozess hinweg zu erhalten.
Ausgelegt für schnelle Wartung und hohe Verfügbarkeit
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